虎丘区半导体工业烤箱出售

箱体结构特征外壳材料采用质量钢板，焊接折弯制作。内胆材料采用质量不锈钢SUS201#板，焊接折弯制作。箱体骨架1.采用角铁加强制作，保持箱体内外各个面的承载强度；2.保留热胀冷缩系数，可防止箱体变形。保温材料采用100K加密型硅酸铝保温棉，具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为100mm。密封材料密封条采用硅胶条制作，可耐温不变形。换气装置箱体上部设有进气口、排气口，口径为75mm”。门手动双开门，两侧安装镀铬加强型合页，可防止门下垂，操作方便。电控箱电控箱安装在箱体右侧，方便操作。凹槽烘箱底部设置平板，可同时放置2部小车，方便小车进出烘箱。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。虎丘区半导体工业烤箱出售

尾气处理：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**废气收集管道。在无**废气收集管道时需做专门处理。设备配置试验室用电源设备及注意事项电源：AC220V50Hz电压允许变动范围：额定值的±5%（但是可运行的范围为±10%）（2）最大负荷容量：3KW（3）最大电流：15A（4）放置箱体时注意与墙面距离应大于300mm。特别要求：文档到指定的網絡路徑：透过txt或者csv抛档案到ip位置路径。然後他生產使用量监控要求：通过流量计+电池阀延时控制，量化气体，控制成本。剩馀量是从药水那边的液位监控,低位报警。HMDS药液流量需可卡控上下限，超出范围报警提醒，机台抛档使用TXT格式，数据：HMDS药剂流量，温度、压力、作业批号、作业人员工号、作业开始时间、结束时间、报警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下货放cassette在机台上的高度/备注cassette放置于设备前方或左右侧）芯片传送方式：（具备cassetteincassetteout)上下货门需要能自动感测开启程序自动调档：（当cassette至于上货平台即能扫档带出该批货的程序自动执行）软件支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口无锡省电工业烤箱维修网链式还原气氛隧道炉。

第二部分、烘烤爐技術性能說明四:输送系统线体技术规格烤炉侧上下循环主输送线：37017L*1777.8W*800-1280H数量:1条1、输送线支架焊接框架结构，链条拖动滚筒输送方式;2、线体支架采用8#槽钢支架焊接,表面油漆处理;3、线体横梁支架8#槽钢制作，与支架螺丝连接固定。4、输送滚筒采用镀锌滚筒，一端配置双链链轮传动;5、滚筒上安装导向轮边，直径120MM,滚筒间距266.7MM;6、滚筒之间传动采用12A滚子链条传动7、烤炉内输送宽度:810MM,滚筒总长约1631MM;8、烤炉内滚筒线动力按照6米段分布，共分为6段动力;9、动力采用0.37KW齿轮减速马达驱动，动力布置在烤炉外侧;10、电机使用欧邦/东元马达，马达配套减速机使用。11、滚筒线输送速度约5米/分钟，可以采用变频调速。下图为烤炉侧滚筒线的端面图（含烤炉炉体）

二、送风系统1.送风方式：强制水平送风循环2.鼓风电机：中国台湾产长轴电机1HP380V4P配无尘多翼式耐高温风轮10.5”各2套,可通过变频调整风量3.内装有可调导流风板4.顶部加220V抽风机三、无尘系统1.无尘等级：100级2.进气口附耐高温过滤网99.93%效率0.3微米，并附压差计，监测过滤器使用状况。四、精度1.温度范围：室温～200℃2.温度波动度：±1℃3.温度均匀度：±5℃（空箱测试）五、温控系统1.控制方式：PID+SSR(固态继电器)出力2.加热器材质：无尘用散热管形不锈钢电热器3.温度控制器：日本富士微电脑自动演算2组8段程序控制器*按键设定式数据输入*温度范围依测试体而不同*PID动作及自动演算功能4.测温体：K型感温组件，测温精确热处理高溫熱風循环烤箱。

四、設備說明及結構設計1、工作原理步進式砂芯烘烤爐採用風路佈置管道的方式，即通過風機將外部新鮮空氣經燃氣燃燒機加熱後，送到預先佈設的加熱風管，熱空氣進入到烘烤爐內，自頂部吹進烘烤爐，除吸進少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過迴圈被繼續加熱利用，送入到烘烤爐內部，使得烘烤爐內溫度逐步升高，當溫度達到設定溫度時，燃氣燃燒機自動調節大小火，使烤房內溫度保持恒定。2設備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時具有自動升溫、恒溫定時、以及具有運風。該設備由爐體、迴圈風機系統、加熱系統、安全系統及電控系統等組成。（選配：過濾系統、廢氣處理系統）3設備說明3.1烘烤爐系統：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優越的優點。3.1.1烘烤爐保溫結構的側板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強度。烘烤爐壁板選用複合岩棉保溫板，板厚150mm，室體底部採用岩棉上設高品質耐溫鍍鋅板。其內外面層為彩鍍鋼板，中間填充岩棉保溫材料，整體結構牢固可靠、外形美觀、保溫效果好，不會因受熱而發生形變，設備使用壽命長。3.1.2結構裝置：烘烤爐為通過式，多層結構，在烘烤爐的二端設閘門，很大程度節能，降低成本，材料與側板同質。链网穿杆输送隧道炉。淮安性价比高工业烤箱

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4、技術參數：序號項目單位規格1砂芯烘乾烤爐結構型式1座多層通過式2加熱能源，正英20万大卡天然氣3工件加熱方式熱風4送風方式不可调节風管運風5烘乾時間min90(可調)6總功率55Kw依據設計圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環境溫度～150（可調）9溫度控制方式honeywell多組PID自動獨立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動方式大功率傳動座12溫度控制honeywell數位式和機械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風量m3/h依據設計圖紙五、配套設施說明：1.設備土建基礎設施由甲方負責，乙方提供設備基礎圖紙。2.甲方負責施工現場的水電氣配套工作。3.甲方負責設備調試前把電、壓縮空氣、水等接到各設備用電、用氣點及用水點上，並派專人協調安裝調試工作。6.設備移交時，乙方需提供產品說明書、等技術資料。7.乙方負責無償培訓甲方安排的操作維護人員至能正常操作及維護所提供設備。8.以上规化是设计构思，具体定案后以图纸和双方负责人确定规格为准。六、優化改善：1.側拉式閘門（配啟用開關）2.電控：人機+PLC（規範配電）3.獨立電櫃厚板1.5T，IP54標準（防塵設計），雙門設計。虎丘区半导体工业烤箱出售

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